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PSS晶圓自動下片機FST-SC100P-D

應用于PSS段ICP工藝生產后，實現PSS下片及解螺絲等功能。主要由鋁盤立體倉儲、cassette立體倉儲、OCR讀取、機器人自動下片、機器人自動解螺絲組成。
裝備性能
類別內容
設備節拍
1600盤/天
產品良率≧99.5%
設備精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm，±0.2度以內
設備尺寸L3.2m*W2.8m**H2.45m



機械設備優越

使用場景：PSS段(duan)ICP工(gong)藝生產后。

全(quan)自動：高度(du)智(zhi)能信(xin)息(xi)化(hua)系統可(ke)實現(xian)盤(pan)自動上料、盤(pan)尋邊(bian)、晶圓mapping、晶圓尋邊(bian)、Wafer ID讀取(qu)、自動下片(pian)、自動拆螺絲(si)、自動下盤(pan)、Wafer ID與盤(pan)SN綁定(ding)LINK后(hou)上傳至MES。

高配(pei)置：CCD自動(dong)檢測、著名品牌(pai)工(gong)業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統。

高精度：晶圓片上下(xia)片重復定位精度可達到±0.15mm，±0.2度以內。

人(ren)性化：成熟(shu)先進的自動(dong)控制技術，增加智能(neng)監控，智能(neng)語音提(ti)醒，既(ji)滿足工(gong)業生產也(ye)兼顧人(ren)因工(gong)程(cheng)。

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